?聚對二甲苯化學(xué)性質(zhì)不活潑，表面涂層保形，而且是一種很好的聚合物絕緣層。歷史上，它被用作醫(yī)用涂料、植入式神經(jīng)絲探針的絕緣層、層間電介質(zhì)，并且在1997進(jìn)入MEMS領(lǐng)域，成為流體互連的涂層材料。聚對二甲苯因其淀積方式(真空中)、無針孔淀積、低加工溫度、透明度和微加工工藝的兼容性成為一種流行的標(biāo)準(zhǔn)MEMS材料。自其進(jìn)人MEMS領(lǐng)域以來，已被開發(fā)成各種各樣MEMS應(yīng)用中的結(jié)構(gòu)材料。聚對二甲苯的碳化/裂化和離子注入工藝也被應(yīng)用于MEMS中作為犧牲或傳感材料。聚對二甲苯結(jié)構(gòu)的進(jìn)一步改進(jìn)已經(jīng)在研究中，特別是在生物學(xué)和生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用方面。 

在MEMS應(yīng)用中，聚對苯薄膜表現(xiàn)出一些非常有用的特性。這些特性包括：非常低的內(nèi)應(yīng)力、可以在室溫下淀積、保角涂覆、化學(xué)惰性以及刻蝕選擇性。聚對二甲苯膜用作電絕緣層、化學(xué)防護(hù)層、保護(hù)層和密封層是十分理想的。聚對二甲苯已用來做微流控溝道、閥門和傳感器(加速度傳感器，壓力傳感器，麥克風(fēng)和切應(yīng)力傳感器)。通常采用控制二聚物的量來調(diào)控聚對二甲苯覆蓋層的厚度。在原位探測聚對二甲苯厚度的監(jiān)控器與末端探測器已經(jīng)研制出來。